Поскольку технология продолжает обновляться и совершенствоваться, ее функции становятся все более совершенными. Машины УФ-литографии различных моделей, спецификаций и конфигураций могут удовлетворить потребности различных отраслей, таких как производители полупроводников, исследовательские институты и т. д. С развитием новых отраслей, таких как интеллектуальное производство и искусственный интеллект, машины УФ-литографии играют все более важную роль. роль в содействии технологическому прогрессу и модернизации промышленности.

Являясь высокотехнологичным производственным оборудованием, машина УФ-литографии обладает преимуществами точной обработки, эффективного производства, стабильности и надежности и т. д. Она играет важную роль в повышении конкурентоспособности промышленности и содействии технологическому развитию. В будущем, благодаря постоянному развитию технологий, машины для УФ-литографии продолжат раскрывать свой огромный потенциал и вносить вклад в развитие мировой высокотехнологичной отрасли.

 

 

1. Разработка и изготовление оборудования занимает много времени, имеет множество технических характеристик (в настоящее время компания регулярно производит 25 видов готовой продукции) и накопила богатый опыт проектирования и производства: наша компания спроектировала, изготовила и продала высокоточные фотолитографические машины сами по себе. Прошло более 20 лет.

2. За годы постоянного совершенствования мы сделали технологию оборудования более совершенной, а его работу более стабильной и надежной. Некоторые механизмы или системы оборудования являются оригинальными нашей компании (многие аналогичные отечественные устройства не соответствуют стандартам или имеют неправильные функции). Конкретные показатели в следующих областях:

(1) Что касается системы механического выравнивания и регистрации:

Технология воздушно-плавающего выравнивания используется для обеспечения превосходных характеристик выравнивания оборудования. Он может эффективно компенсировать плохой контакт пластины, вызванный погрешностью клина пластины, улучшая видимость линий и уменьшая серьезные царапины на пластине, вызванные чрезмерным выравнивающим усилием. , Кроме того: "контакт", "отрыв" оборудования, дрейф крайне мал, у нас есть ряд мер по уменьшению дрейфа, а именно: пластина не движется, пластина движется, направление движения сила компонентов регулировки X, Y, θ и направление собственного веса согласованы; последовательный;

Подъемное движение по оси Z представляет собой шариковую линейную направляющую, которая использует движение с натягом. При движении вверх и вниз отсутствует боковой зазор, что исключает боковой снос; Пластина адсорбируется под рамкой пластины, и когда она запечатана в вакууме, она не будет вести себя так, как на рамке пластины. Из-за «разницы площадей», возникающей во время вакуумной запайки, сила вверх больше, чем сила вниз, что вызывает большую деформацию пластины и большую накопленную ошибку расстояния между графикой;

а. Пластина фиксируется с помощью вакуумной адсорбции, что не только удобно для загрузки и разгрузки пластины, но также гарантирует отсутствие бокового смещения во время контакта и разделения, что не только повышает точность наложения, но и значительно увеличивает скорость наложения. ;

б. После переворачивания пластинчатой ​​рамы соединение с корпусом машины осуществляется вакуумной адсорбцией. Когда пластина находится сверху, рама пластины не смещается вбок.

(2) С точки зрения настройки системы наблюдения:

Монокулярный микроскоп с 1,6–10-кратным бесступенчатым зумом, подключенный к 19-дюймовому ЖК-дисплею через ПЗС-камеру, с общим увеличением 91–570 раз.

(3) Что касается системы воздействия:

Равномерность света хорошая, в диапазоне Ф100 мм, неравномерность света меньше или равна ± 3%, срок службы длительный (нормальный срок службы светодиодного источника ультрафиолетового света составляет не менее 20,{{ 3 часа). Стойка для тарелок совершает поворотное движение относительно стола с пленкой: во-первых, она удобна для загрузки и выгрузки пленки. Во-вторых, пленку и пластину легко очистить азотом или шариком для чистки ушей. Рама пластины фиксируется методом вакуумной адсорбции, что не только уменьшает «дрейф», но и облегчает работу.

 

http://ru.hongenaligner.net/